输送器以及部件检查装置

摘要

本发明提供一种输送器以及部件检查装置。该输送器具备：与收容凹槽对应的第一冷却路径以及第二冷却路径；第一供给路径；与第一供给路径分支的第二供给路；使第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径多的第一节流阀；对各收容凹槽进行加热的加热器；检测各收容凹槽的温度的温度传感器；以及为了使各温度传感器的检测值成为目标温度而控制阀的开闭状态与加热器的输出，并且控制加热器的输出的控制装置。

主权项

一种输送器，其特征在于，具备：第一冷却路径，其利用制冷剂对第一支承部进行冷却，所述第一支承部对部件进行支承；第二冷却路径，其利用制冷剂对第二支承部进行冷却，所述第二支承部对部件进行支承且与所述第一支承部不同；第一加热器，其对所述第一支承部进行加热；第二加热器，其对所述第二支承部进行加热且与所述第一加热器不同；第一温度传感器，其对所述第一支承部的温度进行检测；第二温度传感器，其对所述第二支承部的温度进行检测且与所述第一温度传感器不同；制冷剂供给部，其将制冷剂通过流量控制阀以及连结路径供给至所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径；以及气化容器，其配置于所述连结路径，并包含具有比所述连结路径的流路截面积大的流路截面积的第一气化室以及第二气化室，所述第一冷却路径以及所述第二冷却路径被并列地连接于所述制冷剂供给部，所述连结路径具有第一连结路径以及第二连结路径，所述第一连结路径与所述第一气化室连接，所述第二连结路径与所述第二气化室连接，所述第一气化室以及所述第二气化室配置为能够相互热交换，所述输送器具备控制部，所述控制部根据所述第一温度传感器的检测值使所述流量控制阀进行开阀和闭阀的变化，并使所述第一加热器的输出变化，所述控制部根据所述第二温度传感器的检测值使所述第二加热器的输出变化。