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发明名称 Substrat für ein Halbleiterbauelement, Halbleiterbauelement sowie Verfahren zum Herstellen eines Substrats für ein Halbleiterbauelement und zum Herstellen eines Halbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE19653219(B4) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE19961053219 申请日期 1996.12.19
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 AKIYAMA, HAJIME
分类号 H01L21/762;H01L29/78;H01L21/02;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/12;H01L29/739 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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