Halbleiterbauelement mit einem Hohlraumdeckel

摘要

Es werden ein Halbleiterbauelement mit einem Deckel sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit einem Deckel offenbart. Das Halbleiterbauelement enthält ein Substrat. Ein Bauelement wird auf dem Substrat positioniert. Ein Deckel, der aus einem Halbleitermaterial besteht, wird über dem Bauelement positioniert, um einen Schutzhohlraum um das Bauelement zu bilden. Der Deckel wird mittels eines Halbleiterprozesses ausgebildet. In anderen Beispielen kann der Deckel aus einem nicht-leitfähigen Material hergestellt sein, wie zum Beispiel einem Polymermaterial. Die Deckel können im Rahmen eines diskontinuierlichen Prozesses ausgebildet werden.