屏蔽环和基板载置台

摘要

本发明提供一种寿命比现有屏蔽环高的屏蔽环和使用其的基板载置台。该基板载置台在对基板实施等离子体处理的腔室内载置基板，具有被施加高频电力的金属制的基材和设置于该基材之上的基板载置部，该屏蔽环配置于基材和基板载置部的周围，具有绝缘性，屏蔽环通过将多个构成部件组合而成，各构成部件具有安装于基材的下层部和以覆盖下层部之上的方式设置的上层部，上层部设置为能够反转。

主权项

一种屏蔽环，其具有绝缘性，在用于对基板实施等离子体处理的腔室内载置基板、具有金属制的基材和基板载置部的基板载置台上，配置于所述基材和所述基板载置部的周围，其中，对所述基材施加施加高频电力，所述基板载置部设置于所述基材之上，所述屏蔽环的特征在于：将多个构成部件组合而成，各构成部件包括安装于所述基材的下层部和以覆盖所述下层部之上的方式设置的上层部，所述上层部被设置成能够反转。