发明名称 电编程熔丝结构
摘要 本发明提供一种电编程熔丝结构,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,所述熔丝的宽度小于所述阳极和阴极的最小宽度,所述多条熔丝具有不同的宽度。由于熔丝的宽度不同,需要被熔断所需要的电流不同,即可实现在不同电流下,不同的熔丝被熔断,而使得剩下的E‑fuse的电阻不同,从而可实现可多次编程的可变电阻的电编程熔丝结构。
申请公布号 CN103915411B 申请公布日期 2016.12.28
申请号 CN201310007165.7 申请日期 2013.01.08
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 廖淼
分类号 H01L23/525(2006.01)I 主分类号 H01L23/525(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 骆苏华
主权项 一种电编程熔丝结构,其特征在于,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,多条所述熔丝具有不同的宽度;所述熔丝区包括n块子熔丝区,每块子熔丝区中各具有m条熔丝,各条熔丝长度相同,且宽度相同,不同子熔丝区中的熔丝宽度各不相同;其中,n大于等于2,m大于等于2。
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号