发明名称 | 电编程熔丝结构 | ||
摘要 | 本发明提供一种电编程熔丝结构,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,所述熔丝的宽度小于所述阳极和阴极的最小宽度,所述多条熔丝具有不同的宽度。由于熔丝的宽度不同,需要被熔断所需要的电流不同,即可实现在不同电流下,不同的熔丝被熔断,而使得剩下的E‑fuse的电阻不同,从而可实现可多次编程的可变电阻的电编程熔丝结构。 | ||
申请公布号 | CN103915411B | 申请公布日期 | 2016.12.28 |
申请号 | CN201310007165.7 | 申请日期 | 2013.01.08 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 廖淼 |
分类号 | H01L23/525(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/525(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
主权项 | 一种电编程熔丝结构,其特征在于,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,多条所述熔丝具有不同的宽度;所述熔丝区包括n块子熔丝区,每块子熔丝区中各具有m条熔丝,各条熔丝长度相同,且宽度相同,不同子熔丝区中的熔丝宽度各不相同;其中,n大于等于2,m大于等于2。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |