发明名称 |
感光性树脂组合物及使用其的感光性薄膜 |
摘要 |
本发明提供对导体层具有优越密着性,可形成难以引起导体层变色的光阻的感光性树脂组合物,及使用其的感光性薄膜。本发明的感光性薄膜(1)具备支撑体(11)、树脂层(12)及保护薄膜(13);树脂层(12)由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及由一般式(1)的苯并三唑衍生物的感光性树脂组合物所形成。式中,R<SUP>11</SUP>及R<SUP>12</SUP>为分别独立的氢原子或一价有机基;R<SUP>13</SUP>为卤原子、烷基、环烷基、烯丙基、芳基、氨基、烷基氨基、硝基、氰基、巯基、烷基巯基、羟基、羟基烷基、羧基、羧基烷基、酰基、烷氧基或具有杂环的一价基。其中,R<SUP>11</SUP>及R<SUP>12</SUP>中至少一方为含有可具有取代基的芳基或含有碳原子数10以上的烃基的有机基。 |
申请公布号 |
CN101002142A |
申请公布日期 |
2007.07.18 |
申请号 |
CN200580027141.1 |
申请日期 |
2005.08.11 |
申请人 |
日立化成工业株式会社 |
发明人 |
坂垣胜俊;笹原直树;阿部卓治;味冈芳树 |
分类号 |
G03F7/085(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/085(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
钟晶 |
主权项 |
1.一种感光性树脂组合物,其特征为,其含有:粘合剂聚合物;具有乙烯性不饱和基的光聚合性化合物;光聚合引发剂;以及,由下述一般式(1)表示的苯并三唑衍生物;<img file="A2005800271410002C1.GIF" wi="700" he="274" />式中,R<sup>11</sup>及R<sup>12</sup>为分别独立的氢原子或一价有机基;R<sup>13</sup>为卤原子、烷基、环烷基、烯丙基、芳基、氨基、烷基氨基、硝基、氰基、巯基、烷基巯基、羟基、羟基烷基、羧基、羧基烷基、酰基、烷氧基或具有杂环的一价基;其中,R<sup>11</sup>及R<sup>12</sup>之中的至少一方为,含有可具有取代基的芳基或含有碳原子数10以上的烃基的有机基。 |
地址 |
日本东京都 |