发明名称 一种晶圆级之封装方法及封装结构;A METHOD FOR WAFER LEVEL PACKAGING AND PACKAGE STRUCTURE THEREOF
摘要 本揭露提供一种晶圆级之封装方法及封装结构,其包含下列步骤。例如,形成一贯穿孔于一中介层,其中该中介层的厚度不大于该第一导电柱的长度;设置该第一导电柱于该贯穿孔;沉积一线路重布层,其电性连接该第一导电柱;设置一锡球于该线路重布层上,以形成一晶圆级封装结构。
申请公布号 TW201508864 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW102131200 申请日期 2013.08.30
申请人 南茂科技股份有限公司 CHIPMOS TECHNOLOGIES INC. 发明人 廖宗仁 LIAO, TSUNG JEN
分类号 H01L21/768(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/768(2006.01)
代理机构 代理人 洪荣宗
主权项
地址 新竹县新竹科学工业园区研发一路1号 TW