| 摘要 |
본 발명은 프로브 카드를 검사하기 위한 헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브 카드를 통해서 출력되는 신호 및 전원을 모두 입력받기 위한 복수의 접촉면이 형성되고 상기 접촉면과 상기 프로브 카드의 바늘들과 접촉하는 헤드부 및 상기 헤드부와 연결되고 상기 헤드부로 입력되는 신호 및 전원 중 적어도 어느 하나를 외부로 출력하는 케이블과 연결되는 단자부를 포함하되, 상기 헤드부가 상기 프로브 카드의 신호 무결성(SI:Signal Integrity) 및 전원 무결성(PI:Power Integrity) 중 적어도 어느 하나를 검출하는 프로브 카드 검사용 테스트 헤드에 의해 달성된다. 이에 따라, 프로브 카드를 더트 단위로 검사할 수 있고, 반도체 웨이퍼 검사환경과 동일한 환경조건에서 프로브 카드를 신속하게 검사할 수 있다. |
