发明名称 31 WAFER CARRIER WITH A 31-POCKET CONFIGURATION
摘要 본 명세서에 설명 및 청구된 웨이퍼 캐리어는 상단 표면 상에 배열된 31개 포켓을 포함한다.
申请公布号 KR20160003441(U) 申请公布日期 2016.10.06
申请号 KR20150006434U 申请日期 2015.09.30
申请人 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 发明人 크리쉬난 산딥;모이 켕
分类号 H01L21/673;H01L21/205 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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