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发明名称
31 WAFER CARRIER WITH A 31-POCKET CONFIGURATION
摘要
본 명세서에 설명 및 청구된 웨이퍼 캐리어는 상단 표면 상에 배열된 31개 포켓을 포함한다.
申请公布号
KR20160003441(U)
申请公布日期
2016.10.06
申请号
KR20150006434U
申请日期
2015.09.30
申请人
비코 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人
크리쉬난 산딥;모이 켕
分类号
H01L21/673;H01L21/205
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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