压电感测元件及其制作方法

摘要

本发明提供一种压电感测元件的制作方法，包含(a)提供一基材，该基材具有一个基板、一层形成于该基板其中一表面的牺牲层，及一层形成于该牺牲层表面的底电极层，(b)于该底电极层的表面形成多个由压电材料构成并具有压电特性的奈米柱，(c)于该些奈米柱的间隙形成一层高分子缓冲层，及(d)移除该牺牲层，令该底电极层与该基板分离，即可完成该压电感测元件的制作；此外，本发明还同时提供一种由该制作方法制得的压电感测元件。