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发明名称 DIELECTRIC ETCH CHAMBER WITH EXPANDED PROCESS WINDOW
摘要
申请公布号 KR100887014(B1) 申请公布日期 2009.03.04
申请号 KR20027008559 申请日期 2002.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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