发明名称 |
Verfahren zur Erstellung einer zweidimensionalen elektronischen Struktur |
摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Erstellung einer zweidimensionalen elektronischen Struktur 1. Dieses umfasst wenigstens die folgenden Schritte: Einen Verfahrensschritt A in welchem elektronische Bauelemente 50, 51 und elektrischem Kontakte 40 auf einen Träger 10 aufgebracht werden, einen Verfahrensschritt B in welchem ein zumindest abschnittsweises Beschichten mit Graphen-Oxid 20 erfolgt und einen Verfahrensschritt C in welchem elektrische Verbindungen zwischen den elektronischen Bauelementen 50, 51 erstellt werden, indem das Graphen-Oxid 20, durch lokale Bestrahlung mit Licht einer Lichtquelle 100 abschnittsweise zu Graphen 30 reduziert wird. Dabei wird Schritt C nach Schritt A und Schritt B durchgeführt. |
申请公布号 |
DE102015100692(A1) |
申请公布日期 |
2016.07.21 |
申请号 |
DE201510100692 |
申请日期 |
2015.01.19 |
申请人 |
Technische Hochschule Mittelhessen |
发明人 |
Hain, Franziska;Klös, Alexander;Lammers, Christian |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/60;H01L23/538 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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