发明名称 Verfahren zur Erstellung einer zweidimensionalen elektronischen Struktur
摘要 Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Erstellung einer zweidimensionalen elektronischen Struktur 1. Dieses umfasst wenigstens die folgenden Schritte: Einen Verfahrensschritt A in welchem elektronische Bauelemente 50, 51 und elektrischem Kontakte 40 auf einen Träger 10 aufgebracht werden, einen Verfahrensschritt B in welchem ein zumindest abschnittsweises Beschichten mit Graphen-Oxid 20 erfolgt und einen Verfahrensschritt C in welchem elektrische Verbindungen zwischen den elektronischen Bauelementen 50, 51 erstellt werden, indem das Graphen-Oxid 20, durch lokale Bestrahlung mit Licht einer Lichtquelle 100 abschnittsweise zu Graphen 30 reduziert wird. Dabei wird Schritt C nach Schritt A und Schritt B durchgeführt.
申请公布号 DE102015100692(A1) 申请公布日期 2016.07.21
申请号 DE201510100692 申请日期 2015.01.19
申请人 Technische Hochschule Mittelhessen 发明人 Hain, Franziska;Klös, Alexander;Lammers, Christian
分类号 H01L21/768;H01L21/60;H01L23/538 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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