APPARATUS FOR SUPPLYING WAFER

摘要

본 발명은 카세트 로더와; 상기 카세트 로더로부터 로딩되는 카세트에 적재된 웨이퍼들에서, 설정된 매수로 상기 웨이퍼를 단위 별로 다른 카세트로 적재하는 작업 스테이지; 및 상기 다른 카세르를 언로딩하는 카세트 언로더를 포함하는 웨이퍼 공급 장치를 제공한다.