| 发明名称 |
METHOD FOR INSTALLING A GAS DIFFUSION DEVICE |
| 摘要 |
본 발명은 부품에 불순물을 주입하기 위한 방법에 관한 것이다. 부품은 가스 진입 오리피스(2) 및 다수의 구멍들을 구비한 방출 표면(3)을 가지는 중공체(1) 형태를 하는 샤워 꼭지 형태의 가스 확산 디바이스이며, 주입이 방출 표면에서 일어난다. |
| 申请公布号 |
KR20160146860(A) |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
| 申请号 |
KR20167032125 |
申请日期 |
2015.04.29 |
| 申请人 |
이옹 빔 세르비스 |
发明人 |
또레그로자, 프랑크;루, 로랭 |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/44;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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