| 摘要 |
본 발명은 챔버의 집진장치 및 이를 구비한 챔버에 관한 것으로서, 챔버 내부의 오염물질을 흡입하여 제거하는 챔버의 집진장치로서, 챔버의 개구부의 외곽에 설치되어 챔버의 내부에 잔류하는 오염물질을 흡입하는 하나 이상의 메인 흡입부와, 이 메인 흡입부에 연결되어 메인 흡입부에 흡입된 오염물질을 외부로 배출시키는 배관부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 챔버의 개구부의 외곽에 메인 흡입부를 설치하여 메인 흡입부에 의해 흡입된 오염물질을 외부로 배출시킴으로써, 챔버의 유지보수 작업 개시 전에 챔버의 내부에 잔류하는 오염물질을 신속하고 용이하게 배출시킬 수 있는 효과를 제공한다. |
