一种端口对准器

摘要

本实用新型公开了一种端口对准器，目的在于解决现有的端口对准装置通常结构较为复杂、操作不便、生产成本较高的问题。该端口对准器包括第一连接管、第二连接管、波纹连接管、第一法兰盘、第二法兰盘、连接调整件，所述第一法兰盘、第一连接管、波纹连接管、第二连接管、第二法兰盘依次相连，所述连接调整件为至少两组，所述连接调整件的两端分别与第一法兰盘、第二法兰盘相连。本实用新型具有结构简单，使用方便，可靠性好的特点，能够通过端口对准器自身的调节，实现离子源、光源和操纵杆等部件与样品的精确对中。同时，本实用新型能够实现位置锁定，间接达到使相关部件位置锁定的目的。本实用新型设计合理，结构简单，使用方便，生产成本低，具有较好的应用前景。

主权项

一种端口对准器，包括第一连接管、第二连接管、波纹连接管、第一法兰盘、第二法兰盘、连接调整件，所述第一法兰盘、第一连接管、波纹连接管、第二连接管、第二法兰盘依次相连，其特征在于，所述连接调整件为至少两组，所述连接调整件的两端分别与第一法兰盘、第二法兰盘相连；所述连接调整件包括固定件、支撑杆、反牙关节轴承、第一连杆、第二连杆、调节件、设置在支撑杆上的定位件，所述第一法兰盘与固定件相连，所述固定件与第一连杆相连，所述支撑杆与第二法兰盘相连，所述反牙关节轴承的内圈设置在支撑杆上，所述反牙关节轴承的外圈与第二连杆相连，所述定位件与支撑杆活动连接且定位件能使反牙关节轴承的外圈与第二法兰盘的位置相对固定；所述调节件具有正牙螺纹段和反牙螺纹段，且调节件的两端分别与第一连杆、第二连杆相连，所述调节件的正牙螺纹段与第一连杆相配合，所述调节件的反牙螺纹段与第二连杆相配合。