连续横向固化装置和使用该装置结晶硅的方法

摘要

本发明披露了一种连续横向固化装置和使用该装置结晶硅的方法，该方法控制相邻照射激光束图案的重叠区的大小和排列，使其处于像素区和像素区以外部分的驱动区的特定区域内。该装置包括用于照射激光束的激光发生装置；用于聚焦激光束的聚焦透镜；具有透明区域图案的掩模，允许激光束透过形成激光束图案；减光透镜，用于减弱该掩模透过的激光束图案；具有暴露于照射激光束图案的像素区和驱动区的基板；上面安装有基板的活动工作台；以及位置传感器，该位置传感器感测照射激光束图案的位置，并控制相邻照射激光束图案之间的重叠区的尺寸和排列。

主权项

1、一种连续横向固化装置，包括：一用于照射激光束的激光发生装置；一用于将所照射的激光束聚焦的聚焦透镜；一具有透明图案区域图案的掩模，照射的激光束通过透明区域图案成为激光束图案；一用于减弱激光束图案的减光透镜；一活动工作台；一安装在活动工作台上的基板，该基板上定义有像素区和驱动区，并且暴露于照射激光束图案下，所述像素区包括由多个栅极线区和与所述多个栅极线区相交的多个数据线区分隔的多个像素；并且所述驱动部分包括元件形成区和非元件形成区；以及一位置传感器组件，其用于确定照射在基板上的激光束图案的位置，并控制相邻照射激光束图案的重叠区域，使其处于栅极线区和数据线区内、以及非元件形成区内。