编码器

摘要

本发明涉及一种编码器。在标尺中，形成有参考检测图案和位移检测图案。检测头输出参考检测信号、相位补偿信号和位移检测信号。信号处理单元通过对相位补偿信号和参考检测信号其中之一或这两者进行放大并进行相加来生成参考信号，并且检测检测头相对于标尺的位置。复合受光光栅包括参考检测用受光光栅和被配置成相对于参考检测用受光光栅在测量方向上发生偏移的相位补偿用受光光栅。复合受光元件包括被配置为输出参考检测信号的参考检测用受光元件和被配置为输出相位补偿信号的相位补偿用受光元件。

主权项

一种编码器，包括：标尺，其中在所述标尺中形成有用于检测测量方向上的参考位置的参考检测图案和用于检测所述测量方向上的位移的位移检测图案；检测头，其被配置为输出参考检测信号、相位补偿信号和位移检测信号，其中所述参考检测信号和所述相位补偿信号是所述参考检测图案的检测结果，所述位移检测信号是所述位移检测图案的检测结果；以及信号处理单元，其被配置为通过对所述相位补偿信号和所述参考检测信号其中之一或这两者进行放大并进行相加来生成参考信号，并且基于所述参考信号和所述位移检测信号来检测所述检测头相对于所述标尺的位置，其中，所述检测头包括：光源，其被配置为向所述标尺照射光；复合受光光栅，其包括参考检测用受光光栅和相位补偿用受光光栅，其中所述参考检测用受光光栅被配置为使来自所述参考检测图案的光穿过，所述相位补偿用受光光栅被配置为使来自所述参考检测图案的光穿过并且被配置成相对于所述参考检测用受光光栅在所述测量方向上发生偏移；以及复合受光元件，其包括参考检测用受光元件和相位补偿用受光元件，其中所述参考检测用受光元件被配置为对穿过所述参考检测用受光光栅的光进行光电转换以输出所述参考检测信号，所述相位补偿用受光元件被配置为对穿过所述相位补偿用受光光栅的光进行光电转换以输出所述相位补偿信号。