| 发明名称 | 低热效应投影物镜 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种低热效应投影物镜，其选择合适材料并通过合理的结构设计，能实现在高曝光剂量下较小的热效应，降低了热效应补偿的难度，同时能在44mm×44mm方形视场范围内实现良好均匀的像质，物方像方工作距离达到30mm，总长不超过800mm，且不包含非球面镜片，不给加工、测试和装调增加难度。 | ||
| 申请公布号 | CN101354476A | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN200810042738.9 | 申请日期 | 2008.09.10 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 武珩;储兆祥;赵滨 |
| 分类号 | G02B13/00(2006.01);G02B1/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);G02B27/00(2006.01) | 主分类号 | G02B13/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 1、一种低热效应投影物镜，包括从物方到像方沿光轴依次排列的第一至第十二透镜，所述第六和第七透镜之间设有光阑，所述第一至第六透镜与所述第十二至第七透镜关于所述光阑对称；其特征在于：所述第一、第二、第六透镜具有正光焦度，所述第三、第四、第五透镜具有负光焦度；所述的十二片透镜中，全部采用了10mm内部透光率达到0.999的材料制成，且所述的十二片透镜均不包含非球面表面。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||