一种彩膜基板的制备方法、彩膜基板及相关装置

摘要

本发明公开了一种彩膜基板的制备方法、彩膜基板及相关装置，由于在预设区域至少有两层彩色光阻层，当对各彩色光阻层的图形进行热烘处理时，预设区域中的彩色光阻层可以构成隔垫物；并且由于在热烘处理之后构成的隔垫物的高度与在热烘处理之前预设区域中相邻两层彩色光阻层的交叠面积呈正相关，因此通过控制预设区域中的相邻两层彩色光阻层之间的交叠面积，可以在不影响彩色光阻层的厚度的情况下精细调整隔垫物的高度，从而不影响液晶显示面板的色度并降低工艺控制难度。

主权项

一种彩膜基板的制备方法，其特征在于，包括：在衬底基板上依次形成至少三种彩色光阻层的图形；其中，在预设区域至少有两层彩色光阻层，以所述预设区域中靠近所述衬底基板的彩色光阻层为第一光阻层，所述第一光阻层在所述预设区域中的厚度高于所述第一光阻层在除所述预设区域之外的其它区域的厚度；在形成各彩色光阻层的图形之后，还包括：对各所述彩色光阻层的图形进行热烘处理，所述预设区域中的彩色光阻层构成隔垫物；并且在所述热烘处理之后构成的隔垫物的高度与在所述热烘处理之前所述预设区域中相邻两层彩色光阻层的交叠面积呈正相关。