发明名称 | 带有开槽金属的基板及相关方法 | ||
摘要 | 提供了带有开槽金属的基板及其方法。依照一个方面,附加在基板的开槽金属可包括加工出槽图案的金属,所述槽小于或约等于2微米,其中所述槽使得线宽近似为未形成图案层中单个冶金颗粒的尺寸。 | ||
申请公布号 | CN101657747A | 申请公布日期 | 2010.02.24 |
申请号 | CN200780050940.X | 申请日期 | 2007.12.05 |
申请人 | 维斯普瑞公司 | 发明人 | A·S·莫里斯三世;D·德鲁斯;S·J·坎宁哈姆 |
分类号 | G02B6/26(2006.01)I;G02B26/00(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/26(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 杨胜军;蔡洪贵 |
主权项 | 1.一种带有开槽金属的基板,开槽金属包含形成有槽图案的金属,所述槽小于或约等于2微米,其中,所述槽使得线宽近似为未形成图案层中单个冶金颗粒的大小。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚 |