发明名称 带有开槽金属的基板及相关方法
摘要 提供了带有开槽金属的基板及其方法。依照一个方面,附加在基板的开槽金属可包括加工出槽图案的金属,所述槽小于或约等于2微米,其中所述槽使得线宽近似为未形成图案层中单个冶金颗粒的尺寸。
申请公布号 CN101657747A 申请公布日期 2010.02.24
申请号 CN200780050940.X 申请日期 2007.12.05
申请人 维斯普瑞公司 发明人 A·S·莫里斯三世;D·德鲁斯;S·J·坎宁哈姆
分类号 G02B6/26(2006.01)I;G02B26/00(2006.01)I 主分类号 G02B6/26(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 杨胜军;蔡洪贵
主权项 1.一种带有开槽金属的基板,开槽金属包含形成有槽图案的金属,所述槽小于或约等于2微米,其中,所述槽使得线宽近似为未形成图案层中单个冶金颗粒的大小。
地址 美国加利福尼亚