发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5293283(A) 申请公布日期 1977.08.05
申请号 JP19760010145 申请日期 1976.02.02
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 OONO YASUO
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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