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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52153377(A) 申请公布日期 1977.12.20
申请号 JP19760070275 申请日期 1976.06.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 WATAKABE YAICHIROU
分类号 H01L29/73;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/861 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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