发明名称
摘要
申请公布号 JPS533620(B2) 申请公布日期 1978.02.08
申请号 JP19730064270 申请日期 1973.06.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/761;H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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