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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5349970(A) 申请公布日期 1978.05.06
申请号 JP19760123817 申请日期 1976.10.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORIUCHI KATSUTADA;KONDOU RIYUUJI;TAKEDA EIJI;HAGIWARA TAKAKATSU;ITOU YOUKICHI
分类号 H01L21/768;H01L21/31;H01L27/10 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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