| 摘要 |
현미침 조립체 위에 도포되는 박막 내의 세장형 구멍의 구성은 구멍을 형성하는 방식을 제어하고/하거나 박막을 도포하는 방식을 제어함으로써 제어될 수 있다. 박막의 적어도 일부분은 박막과 현미침 사이에 간극이 형성되도록 현미침으로부터 멀리 이격될 수 있다. 간극은 세장형 구멍의 형성을 적어도 부분적으로 제어함으로써 구성될 수 있다. 간극의 형상은 선택적으로, 박막 내의 주름에 의해서 적어도 부분적으로 형성될 수 있다. 임의의 주름은 미리 결정된 방식으로 정렬될 수 있다. 세장형 구멍은 박막을 천공하기 이전에 현미침 조립체 내의 홀을 통과하는 천공 부재에 의해 형성될 수 있다. 천공 부재는 레이저 빔일 수 있다. |
