发明名称 INFRARED-RAY HEATER
摘要
申请公布号 JPS6215816(A) 申请公布日期 1987.01.24
申请号 JP19850154592 申请日期 1985.07.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KARATSU KAZUHIRO;NOZAKI JUNICHI;TAKEBAYASHI MIKIO
分类号 H01L21/205;H01L21/26;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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