发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0196573(A) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 JP19870252511 申请日期 1987.10.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 CHIMURA MORIYUKI;OTANI KAZUHIRO
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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