| 发明名称 |
SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01132903(A) |
申请公布日期 |
1989.05.25 |
| 申请号 |
JP19870289311 |
申请日期 |
1987.11.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIGENIWA MASAHIRO;KASHU NOBUYOSHI;OYU SHIZUNORI;WADA YASUO |
| 分类号 |
G01N23/00;G01B7/34;G01N37/00;G01Q30/14;G01Q60/10;G01Q60/16 |
主分类号 |
G01N23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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