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发明名称 ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01270221(A) 申请公布日期 1989.10.27
申请号 JP19880099106 申请日期 1988.04.21
申请人 SONY CORP 发明人 TSUMORI TOSHIRO
分类号 H01L21/266;H01L21/265 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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