发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER AND PROCESSING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0434931(A) 申请公布日期 1992.02.05
申请号 JP19900139802 申请日期 1990.05.31
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOMINAGA YUKIHIRO
分类号 H01L21/304;H01L21/268 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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