Label-free Sensor and Method for Manufacture thereof

摘要

본 발명은 일면에 홈이 형성된 기판; 및 홈의 상부에 부유하여 위치하며 복수개의 관통홀이 구비되어 자기공명을 갖는 전 유전체 메타물질층;을 포함하는 비표지식 센서에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 a) 기판의 일면에 고굴절률 유전체층을 형성하는 단계; b) 고굴절률 유전체층 상에 패턴화된 레지스트막을 형성하는 단계; c) 패턴화된 레지스트막을 마스크로 하여 고굴절률 유전체층에 관통홀을 형성하여 메타물질층을 형성하는 단계; d) 레지스트막을 제거하는 단계; e) 기판의 일부분을 식각하여 관통홀의 하부에 홈을 형성하는 단계;를 포함하는 비표지식 센서의 제조방법에 관한 것이다.