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发明名称 Tapa puhdistaa puolijohdevalmiste
摘要
申请公布号 FI97920(C) 申请公布日期 1997.03.10
申请号 FI19910000946 申请日期 1991.02.27
申请人 OKMETIC OY, 发明人 ANTTILA,OLLI
分类号 H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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