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发明名称
摘要
申请公布号 JP2776382(B2) 申请公布日期 1998.07.16
申请号 JP19960257918 申请日期 1996.09.30
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 KIKUCHI HIROMASA
分类号 G01N21/00;G01N27/00;G01N27/20;G01R31/302;H01L21/66;H05K3/00;(IPC1-7):H05K3/00 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
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