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发明名称
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申请公布号 JP2893554(B2) 申请公布日期 1999.05.24
申请号 JP19960501069 申请日期 1995.05.31
申请人 SHIRIKONITSUKUSU INC 发明人 SHEE FUUIYUAN;KUAN SEEPPON;CHAN MAIKU EFU;HOO YUEE SE;UAN DERU RINDE YAN;OYAN KIN
分类号 H01L21/76;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/40;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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