扫描探针显微镜

摘要

一种扫瞄探针显微镜，包含：其前端处配备有探针尖端的探针１、由压电振动体２和ＡＣ电压产生部分３所组成的振动施加部分、由石英振荡器４和电流／电压放大器电路５所组成的振动检测部分、将探针带至接近样品表面所用的粗位移机构６、由Ｚ微位移元件１１和Ｚ伺服电路１２所组成的样品至探针之距离控制机构、由ＸＹ微位移元件１３和ＸＹ扫瞄电路１４所组成的二维扫瞄机构、与将量测之讯号转换成三维影像所用的资料处理机构１５。弹性体１６之弹簧压力将探针１固持于石英振荡器４。参见第１图。

主权项

第四图