| 主权项 |
1.一种气体分离箱,其包括一箱体,其包括数个接合载体片用之沟槽;一气体棒管,其装设在插入数个沟槽里面其中一个沟槽内之载体片上;及该箱体上的连接部,其用来将该气体棒管连接到气体供应源及器具。2.根据申请专利范围第1项之气体分离箱,其中该箱体包括不锈钢。3.根据申请专利范围第1项之气体分离箱,其中该沟槽包括垂直沟槽。4.根据申请专利范围第1项之气体分离箱,其中该气体棒管稳固地装设在该载体片上,经渗漏测试并贴上标签。5.根据申请专利范围第1项之气体分离箱,其中该气体棒管进一步包括数列选自一群包括阀,仪表及调节器之连接气体管线控制器。6.根据申请专利范围第1项之气体分离箱,其进一步包括:一安装架,其接在该载体片并包括数个尾端;在该箱体上的架体,其系接合该安装架之该尾端。7.根据申请专利范围第1项之气体分离箱,其中该连接部进一步包括VCR装置。8.一种半导体制造用的设备,其包括一半导体制造器具;及一气体分离箱,其包括数个接合载体片用之沟槽及至少一设在插入数个沟槽里面其中一个沟槽内之载体片上的气体管线控制器,该气体分离箱连接到该器具并作为将气体从气体供应源经由该气体管线控制器输送到该器具之用。图式简单说明:第一图为根据本发明较佳具体实施例,设有气体分离箱之半导体制造器具的方块图;第二图A及第二图B为根据本发明较佳具体实施例,将高纯度气体管线连接到制造器具所用之气体分离箱的不同视图;及第三图详细说明根据本发明较佳具体实施例,气体分离箱里载体片之安装系统。 |
