| 摘要 |
一种雷射光束图案产生器，其具有可支撑一基板之一基板支撑器，其中该基板支撑器具有一可移动该基板支撑器的支撑马达。一雷射光束源，系用于产生一雷射光束。一光束调节器，系可根据一图案调节该雷射光束之强度。一旋转扫描器，系具有数个可以一自旋频率旋转的镜面，以扫描该雷射光束遍及该基板。该雷射光束图案产生器也具有一旋转扫描器补偿装置，根据一含有该自旋频率之一谐波之旋转扫描器校正讯号，加以偏斜该雷射光束，用来补偿该雷射光束扫描中由该旋转扫描器引起之错误。一控制器，系适用于控制该基板支撑器、雷射光束源、光束调节器、旋转扫描器与旋转扫描器补偿装置，并调节与扫描该雷射光束遍及该基板，以在该基板上产生图案。 |
