发明名称 双外杯罩及具有双外杯罩之涂布装置
摘要 一种适用于涂布装置之双外杯罩,该双外杯罩包括:一第一外杯罩,用以收集被涂布物于旋转时所旋离之多余涂布物质,并且防止旋离之多余涂布物质形成的粉末弹返至被涂布物,以及一第二外杯罩,设置于第一外杯罩之外,用以收集被涂布物在高速旋转时所旋离但无法被第一外杯罩收集之多余涂布物质,并且防止无法被第一外杯罩收集之多余涂布物质形成的粉末弹返至被涂布物。其中第一外杯罩与第二外杯罩之间形成一空间,且第一外杯罩具有复数个连通孔均匀环布在第一外杯罩上,用以排放在被涂布物旋转时进入上述空间之残物,藉此降低涂布过程中在被涂布物边缘形成的紊流。伍、(一)、本案代表图为:第2图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明:2~本创作之涂布装置; 20~本创作之双外杯罩;21~第二外杯罩; 22~第一外杯罩;22a~连通孔a; 23~内杯罩;25~旋转吸盘; 27~被涂布物。
申请公布号 TW576543 申请公布日期 2004.02.11
申请号 TW092212179 申请日期 2001.08.08
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 庄志成;黄正祥;刘德鋆
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种双外杯罩,适用于一涂布装置,该双外杯罩包括:一第一外杯罩,用以收集一被涂布物于一旋转速度旋转时所旋离之多余涂布物质;以及一第二外杯罩,设置于该第一外杯罩之外,用以收集该被涂布物在高于该旋转速度旋转时所旋离但无法被该第一外杯罩收集之上述多余涂布物质;其中,该第一外杯罩与该第二外杯罩之间形成一空间,且该第一外杯罩具有复数个连通孔来排放在该被涂布物旋转时进入该空间之残物,藉此降低涂布过程中在该被涂布物边缘形成的紊流。2.如申请专利范围第1项所述之双外杯罩,其中上述第一外杯罩用以防止上述旋离之多余涂布物质形成的粉末弹返至该被涂布物。3.如申请专利范围第1项所述之双外杯罩,其中上述第二外杯罩用以防止无法被该第一外杯罩收集之上述多余涂布物质形成的粉末弹返至该被涂布物。4.如申请专利范围第1项所述之双外杯罩,其中上述复数个连通孔系均匀地环布在上述第一外杯罩之上端部。5.如申请专利范围第4项所述之双外杯罩,其中藉由上述第一外杯罩的上述复数个连通孔排放之残物数量占上述涂布装置所收集之残物数量的15%到30%之间。6.如申请专利范围第5项所述之双外杯罩,其中藉由上述第一外杯罩的上述复数个连通孔排放之残物数量占上述涂布装置所收集之残物数量大体上以20%较佳。7.如申请专利范围第1项所述之双外杯罩,其中上述第一外杯罩包括:一第一外杯罩本体,该第一外杯罩本体之一第一端部形成一第一开口,该第一外杯罩本体之一第二端部具有一第二开口,其系由该第一外杯罩本体向该第一外杯罩本体之中心轴延伸所形成;以及一第一突缘,由该第二端部向该第一外杯罩本体之中心轴延伸所形成。8.如申请专利范围第7项所述之双外杯罩,其中上述第一突缘之一第一突缘壁延伸平面与上述第一端部之一第一开口延伸平面之间形成实质上小于90之夹角,用以防止自上述被涂布物旋离之物质碰撞到一第一突缘壁而弹出上述双外杯罩和弹返至上述被涂布物。9.如申请专利范围第1项所述之双外杯罩,其中上述第二外杯罩包括:一第二外杯罩本体,该第二外杯罩本体之一第三端部连接于上述第一外杯罩本体,该第二外杯罩本体之一第四端部具有一第三开口,为该第二外杯罩本体向该第二外杯罩本体之中心轴延伸所形成;以及一第二突缘,由该第四端部向该第二外杯罩本体之中心轴延伸所形成。10.如申请专利范围第9项所述之双外杯罩,其中上述第二突缘之一第二突缘壁延伸平面与上述第一端部之上述第一开口延伸平面之间形成实质上小于90之夹角,用以防止自上述被涂布物旋离之物质碰撞到一第二突缘壁而弹出上述双外杯罩和弹返至上述被涂布物。11.一种涂布装置,适用于将涂布物质涂布于一被涂布物之上,该涂布装置包括:一内杯罩;一旋转吸盘,设置于该内杯罩之中央,用以水平地支承固定该被涂布物并加以旋转;以及一双外杯罩,设置于该内杯罩之外,其中该双外杯罩包括:一第一外杯罩,用以收集一被涂布物于一旋转速度旋转时所旋离之多余涂布物质;以及一第二外杯罩,设置于该第一外杯罩之外,用以收集该被涂布物在高于该旋转速度旋转时因离心力所旋离但无法被该第一外杯罩收集之多余涂布物质;其中,该第一外杯罩与该第二外杯罩之间形成一空间,且该第一外杯罩具有复数个连通孔来排放在该被涂布物旋转时进入该空间之残物,藉此降低涂布过程中在该被涂布物边缘形成的紊流。12.如申请专利范围第11项所述之涂布装置,其中该第一外杯罩用以防止上述旋离之多余涂布物质形成的粉末弹返至上述被涂布物。13.如申请专利范围第11项所述之涂布装置,其中上述第二外杯罩用以防止无法被上述第一外杯罩收集之上述多余涂布物质形成的粉末弹返至上述被涂布物。14.如申请专利范围第11项所述之涂布装置,其中上述复数个连通孔系均匀地环布在上述第一外杯罩之上端部。15.如申请专利范围第14项所述之涂布装置,其中藉由上述第一外杯罩的上述复数个连通孔排放之残物数量占上述涂布装置所收集之残物数量的15%到30%之间。16.如申请专利范围第15项所述之涂布装置,其中藉由上述第一外杯罩的上述复数个连通孔排放之残物数量占上述涂布装置所收集之残物数量大体上以20%较佳。17.如申请专利范围第11项所述之涂布装置,其中上述第一外杯罩包括:一第一外杯罩本体,该第一外杯罩本体之一第一端部形成一第一开口,该第一外杯罩本体之一第二端部具有一第二开口,其系由该第一外杯罩本体向该第一外杯罩本体之中心轴延伸所形成;以及一第一突缘,由该第二端部向该第一外杯罩本体之中心轴延伸所形成。18.如申请专利范围第17项所述之涂布装置,其中上述第一突缘之一第一突缘壁延伸平面与上述第一端部之一第一开口延伸平面之间形成实质上小于90之夹角,用以防止自上述被涂布物旋离之物质碰撞到一第一突缘壁而弹出上述双外杯罩和弹返至上述被涂布物。19.如申请专利范围第11项所述之涂布装置,其中上述第二外杯罩包括:一第二外杯罩本体,该第二外杯罩本体之一第三端部连接于该第一外杯罩本体,该第二外杯罩本体之一第四端部具有一第三开口,为该第二外杯罩本体向该第二外杯罩本体之中心轴延伸所形成;以及一第二突缘,由该第四端部向该第二外杯罩本体之中心轴延伸所形成。20.如申请专利范围第19项所述之涂布装置,其中上述第二突缘之一第二突缘壁延伸平面与上述第一端部之上述第一开口延伸平面之间形成实质上小于90之夹角,用以防止自上述被涂布物旋离之物质碰撞到一第二突缘壁而弹出该双外杯罩和弹返至上述被涂布物。图式简单说明:第1图是习知涂布装置之剖面示意图;第2图是具有双外杯罩的涂布装置之剖面示意图;第3图是本创作双外杯罩之剖面图;第4图是本创作双外杯罩之组立图;第5图是具有双外杯罩的涂布装置,被涂布物旋转时之气流示意图。
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