光电装置用基板之制造方法及光电装置之制造方法

摘要

本发明乃一种光电装置用基板之制造方法及光电装置之制造方法，对于形成于基板上之感光性树脂，使用光罩进行曝光。于此曝光，经由适切设定光罩之光透过部之大小，和曝光间隔，将感光性树脂之表面上之曝光强度分布沿该表面，增减变化成曲线状地加以构成，以此曝光强度分内加以曝光之后，经由显像，形成具有表面凹凸形状之树脂层。之后，于此树脂层上，形成以金属薄膜等构成之反射层。