| 发明名称 |
HERSTELLUNG VON STRUKTUREN EINER METALL/HALBLEITER-VERBINDUNG DURCH RÖNTGENSTRAHL/EUV-PROJEKTIONSLITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT305626(T) |
申请公布日期 |
2005.10.15 |
| 申请号 |
AT20010903545T |
申请日期 |
2001.02.05 |
| 申请人 |
QUANTISCRIPT INC. |
发明人 |
DROUIN, DOMINIQUE;LAVALLEE, ERIC;BEAUVAIS, JACQUES |
| 分类号 |
B81C1/00;G03F1/22;G03F1/24;G03F1/50;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):G03F1/08;G03F1/14;G03F7/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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