| 摘要 |
피처리체에 성막 처리를 행하는 프로세스 챔버로, 원료의 전구체를 승화시킨 기상 원료를 공급할 시, 원료 용기 내의 전구체를 효율 좋게 승화시킨다. 프로세스 챔버(2)에 연통하는 개구(30)를 가지는 하우징(24) 내에, 전구체(50)를 수용하는 트레이(41)가 상하로 복수단 적층되고, 각 트레이(41)는, 캐리어 가스를 트레이(41) 내로 도입하는 입구(홀(45)) 및 캐리어 가스가 전구체(50)의 기상 원료와 함께 유출되어 개구(30)에 연통하는 출구(간극(28))를 가지고, 또한 전구체(50)를 트레이(41) 내에 보지하는 덮개(46)를 개폐 가능하게 구비하고 있다. |
