发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERMITTLUNG EINER AUSRICHTMARKIERUNG
摘要
申请公布号 DE2502591(A1) 申请公布日期 1975.07.31
申请号 DE19752502591 申请日期 1975.01.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 C. WOODARD,OLLIE
分类号 H05K3/00;G06T1/00;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):B65H7/02;H05K3/06 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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