| 发明名称 |
APPARATUS FOR GENERATING NEUTRALIZED ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58166930(A) |
申请公布日期 |
1983.10.03 |
| 申请号 |
JP19820222199 |
申请日期 |
1982.12.20 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
JIEEMUZU MATSUKERU EDOUIN HAABAA;MOODEHAI HAIBURAMU;HARORUDO RICHIYAADO KAUFUMAN |
| 分类号 |
B01J19/08;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/02;H01J37/08;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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