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经营范围
发明名称
MATERIAL TREATMENT APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号
EP0060151(B1)
申请公布日期
1984.07.11
申请号
EP19820400148
申请日期
1982.01.27
申请人
INSTRUMENTS S.A.
发明人
BOUCHAIB, PIERRE
分类号
H01L21/203;C30B23/02;C30B35/00;H01L21/677;(IPC1-7):30B35/00;30B23/02;01L21/68
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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