发明名称 MATERIAL TREATMENT APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 EP0060151(B1) 申请公布日期 1984.07.11
申请号 EP19820400148 申请日期 1982.01.27
申请人 INSTRUMENTS S.A. 发明人 BOUCHAIB, PIERRE
分类号 H01L21/203;C30B23/02;C30B35/00;H01L21/677;(IPC1-7):30B35/00;30B23/02;01L21/68 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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