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发明名称
摘要
申请公布号 DE2808401(C3) 申请公布日期 1984.07.19
申请号 DE19782808401 申请日期 1978.02.27
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 KELLER, WOLFGANG, DR.RER.NAT.;SCHROETTER, GERHARD, 8000 MUENCHEN, DE
分类号 C30B13/20;C30B13/30;H01L21/208;(IPC1-7):30B13/30 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
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