发明名称 PATTERN FORMATION BY LIFT-OFF METHOD
摘要
申请公布号 JPS59126686(A) 申请公布日期 1984.07.21
申请号 JP19830001184 申请日期 1983.01.10
申请人 KOGYO GIJUTSUIN (JAPAN) 发明人 ISHIDA ICHIROU
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/3065;H01L39/24 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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