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发明名称 PLASMA SMEAR REMOVING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS60225493(A) 申请公布日期 1985.11.09
申请号 JP19840080176 申请日期 1984.04.23
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KANAI SABUROU;KAWAHARA HIRONORI;FUKUSHIMA YOSHICHIKA;WANAMI MASAHIRO
分类号 H05K3/26;H05K3/40 主分类号 H05K3/26
代理机构 代理人
主权项
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