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resumo dispositivo cmut, dispositivo de geração de imagem de ultrassom, dispositivo de detecção de pressão e método de fabricação de um dispositivo cmut dispositivos cmut são usados em muitos aplicativos, por exemplo, para geração de imagem de ultrassom e medição de pressão. estes dispositivos operam com a detecção de uma alteração na capacitância causada pela deflexão de uma membrana compreendendo um de um par de eletrodos no dispositivo por exposição ao ultrassom da, ou com pressão aplicada na membrana. o dispositivo cmut pode ser suscetível aos efeitos da mudança de temperatura. 1/1 |