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发明名称
CHAMICAL VAPOR GROWTH
摘要
申请公布号
JPS632330(A)
申请公布日期
1988.01.07
申请号
JP19860144919
申请日期
1986.06.23
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NISHIMURA MASAHIDE;TAKASAKI KANETAKE;KOYAMA KENJI;TSUKUNE ATSUHIRO
分类号
C23C16/22;C23C16/40;H01L21/316
主分类号
C23C16/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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